[发明专利]一种大尺寸衬底抛光用白垫及其生产工艺有效
| 申请号： | 202210553914.5 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN114918823B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 李加海;杨慧明;李元祥 | 申请（专利权）人： | 安徽禾臣新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24D3/00;B24D18/00 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 朱守鑫 |
| 地址： | 238200 安徽省马鞍山市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸衬底抛光用白垫及其生产工艺，属于抛光垫领域。本发明的一种大尺寸衬底抛光用白垫及其生产工艺，所述第二抛光白垫与第三抛光白垫之间设置有第一抛光垫连接板，所述第一抛光白垫与第二抛光白垫之间设置有第二抛光垫连接板。本发明解决了现有技术中抛光垫适应性差，无法配合不同的工件同步工作，且抛光效果一般，不具备足够的韧性提高抛光质量的问题，在进行抛光研磨工作时，第三抛光白垫的外部受到抛光元件的挤压，受到的压力可经过三层的缓冲，可通过第一抛光垫连接板和第二抛光垫连接板内部本身的弹性，进一步提高高速研磨过程中的缓冲能力，提高抛光研磨效果，有效提升抛光的工作质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 衬底 抛光 用白垫 及其 生产工艺 | ||
【主权项】：
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