[发明专利]一种载板料盒收纳架及其收纳方法、复合机器人在审
| 申请号： | 202210557873.7 | 申请日： | 2022-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN114823447A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 陈世才;周易乐;赵越 | 申请（专利权）人： | 上海仙工智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;B65G1/14;B65G1/04;B65G47/90 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 季永康 |
| 地址： | 201206 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种载板料盒收纳架及其收纳方法、复合机器人，其中该载板料盒收纳架包括：第一驱动装置，第一压紧件，第一基座，背挡板，侧挡件，减震件，其中所述背挡板固定在第一基座第一位置，以将第一基座分隔出前台区及后台区，所述背挡板上设有移动口，所述第一驱动装置设置在后台区的第一基座上，所述第一压紧件与第一驱动装置的移动端连接并经移动口伸入前台区，所述侧挡件至少与第一基座或背挡板之一连接，以在前台区与第一压紧件之间定义出收纳区，其中所述减震件围设在第一基座底部。籍此适配复合机器人用于针对载板料盒进行批量载装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 板料 收纳 及其 方法 复合 机器人 | ||
【主权项】：
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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