[发明专利]用于晶体生长炉的加热器组件及其控制方法、晶体生长炉在审
| 申请号： | 202210557943.9 | 申请日： | 2022-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN114959881A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B15/20;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵丽婷 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶体生长炉的加热器组件及其控制方法、晶体生长炉，晶体生长炉包括炉体和坩埚，坩埚设在炉体内，加热器组件设在炉体内，且包括多个固定加热器和多个活动加热器，固定加热器适于围绕坩埚设置，多个活动加热器沿固定加热器的径向依次设置，且多个活动加热器和多个固定加热器沿固定加热器的径向交替设置，每个活动加热器可沿固定加热器的轴向相对于固定加热器在第一高度位置和第二高度位置之间上下移动。根据本发明的用于晶体生长炉的加热器组件，可以调整对坩埚轴向上不同区域输出的加热功率，满足了晶体生长炉的不同的热场需求。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶体生长 加热器 组件 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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