[发明专利]光罩版夹取方法在审
| 申请号： | 202210568338.1 | 申请日： | 2022-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN114906531A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 孙宏 | 申请（专利权）人： | 上海图灵智算量子科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G7/12 | 分类号： | B65G7/12;B65G49/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光罩版夹取方法，用于夹住光罩版，所述光罩版夹取方法包括：S10：将光罩版夹取装置的夹块卡装至所述光罩版的一个侧边；S20：利用光罩版夹取装置的锁紧件将所述夹块固定至所述光罩版；S30：通过所述光罩版夹取装置移动所述光罩版。先利用夹块夹住光罩版，随后利用锁紧件作用夹块，从而使夹块夹住并移动光罩版，可以避免光罩版意外滑落，进而避免光罩版摔碎报废。操作人员通过光罩版夹取装置操作光罩版，能够避免双手直接接触光罩版，进而避免光罩版留下手指印，避免造成光罩版玻璃污染，也能避免光罩版玻璃伤到操作人员的手。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩版夹取 方法 | ||
【主权项】：
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