[发明专利]一种TaNbTi基难熔中熵非晶合金涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 202210569722.3 | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN114959584A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 王亚强;李星;张金钰;吴凯;刘刚;孙军 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35;C23C14/02;C22C30/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 范巍 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TaNbTi基难熔中熵非晶合金涂层及其制备方法，该合金涂层为TaNbTiCr或TaNbTiAl，其组成元素都为等原子比。在单面抛光的单晶硅基体上采用磁控溅射共溅射的方法制备TaNbTi基难熔中熵合金涂层，靶材为两个TaNbTi合金靶纯度99.9wt.％，一个Cr靶纯度99.95wt.％或一个Al靶纯度99.99wt.％，通过磁控溅射共溅射技术制备的TaNbTi基难熔中熵合金涂层，微观结构为致密均匀的非晶组织，内部缺陷少，元素分布均匀，粗糙度极小，截面断口呈韧窝状花纹形貌，该TaNbTi基难熔中熵合金涂层具有优异的力学性能、抗氧化和耐腐蚀性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tanbti 基难熔中熵非晶 合金 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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