[发明专利]一种采用有机溶剂通过低温电沉积制备硅薄膜的方法在审
| 申请号： | 202210574195.5 | 申请日： | 2022-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN115537882A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 冯锐;冯敏;李蓉 | 申请（专利权）人： | 山东理工大学 |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00;C25D1/04;C25D9/04;C25D11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255086 山东省淄*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电沉积制备硅薄膜的方法，包括以下步骤：a)将有机溶剂干燥，b)将有机溶剂与硅盐和支持电解质混合均匀，得到电解液；c)处理电极，d)将电解液转移到电解池中进行电沉积，电沉积完成后将试样拿出并清洗得到硅薄膜。本发明采用有机溶剂使用如图所示装置通过低温电沉积制备硅薄膜，不仅能够解决传统制备硅薄膜工艺能耗高、大规模沉积效率低等问题，而且使用有机溶剂进行电沉积还能降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 有机溶剂 通过 低温 沉积 制备 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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