[发明专利]一种体波滤波器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210577441.2 | 申请日： | 2022-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN114826200A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 董波;胡昱轩 | 申请（专利权）人： | 深圳技术大学 |
| 主分类号： | H03H9/56 | 分类号： | H03H9/56;H03H9/58;H03H3/02 |
| 代理公司： | 深圳尚业知识产权代理事务所(普通合伙) 44503 | 代理人： | 杨勇 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种体波滤波器，依次包括：基底层、聚合物空腔层、支撑膜、底电极、压电膜层和上电极，其中，聚合物空腔层中空气腔上部与支撑膜接触的边界厚度为1～3um。本发明实施例利用双光子聚合工艺制造聚合物空气微腔，并在聚合物层直接制造支撑膜，可以极大的简化工艺。当体声波在聚合物空腔层和压电薄膜层之间来回反射时会产生谐波，从而有效的提高该类器件的滤波频段。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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