[发明专利]半导体FDC数据分类方法、装置和计算机可读存储介质在审
| 申请号： | 202210577490.6 | 申请日： | 2022-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN114969468A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 张周;陈予郎;许嘉祐 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G06F16/906 | 分类号： | G06F16/906 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 霍文娟 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种半导体FDC数据分类方法、装置和计算机可读存储介质。该方法包括：获取传感器清单，传感器清单中包括多个传感器，各传感器用于监控半导体机台参数；遍历传感器清单，并获取传感器清单中的目标传感器在近期内获取的FDC数据；在目标传感器在近期内获取的FDC数据的数据量大于阈值的情况下，确定FDC数据的分布规律；根据分布规律确定FDC数据的类型。该方案中，直接是由计算机获取FDC数据后进行自动分析判断的，可以规避人为判断的影响，可以实现自动对FDC数据分类，这样可以保证对FDC数据的类型判断的准确率较高，且该方案的效率也较高，进而解决了一些方案中人为对FDC收集到的数据类型进行判断准确率较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 fdc 数据 分类 方法 装置 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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