[发明专利]一种超薄柔性导电复合薄膜的制备方法及装置在审
| 申请号： | 202210586400.X | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN114959626A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 齐朋伟;吕吉庆;齐素杰;张杰;杨红光;金荣涛 | 申请（专利权）人： | 九江德福科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/02;C23C14/34;C23C14/54;C25D7/06;C25D19/00;H01B13/00;H01B5/14 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 孙健 |
| 地址： | 332005 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超薄柔性导电复合薄膜的制备方法，包括卷绕转运、薄膜预处理、溅射镀膜、电镀加厚四个部分。本发明还涉及一种采用了上述方法的制备装置，作为原材料的聚合物薄膜依次通过设于一个密封壳体内的放卷仓、预处理仓、溅射仓及收卷仓，完成溅射镀膜后转置至电镀加厚工段，最后制备成为超薄柔性导电复合薄膜并覆膜。本方法及使用本方法的装置通过增加离子源预处理前的红外热辐射，结合调控第一金属层和第二金属层的成膜温度，成功实现了卷绕式聚合物薄膜表面镀膜质量的提高，增强了聚合物薄膜与真空镀层之间的结合力。本方法步骤简单，操作容易，能够有效提高各种聚合物薄膜表面真空镀膜的产品质量，具有广泛的应用价值和重大的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 柔性 导电 复合 薄膜 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
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