[发明专利]一种晶体微盘光学谐振腔制备设备及方法有效
| 申请号： | 202210587559.3 | 申请日： | 2022-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN115056081B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 肖云峰;张方醒;柏雁捷 | 申请（专利权）人： | 北京大学长三角光电科学研究院 |
| 主分类号： | B24B19/00 | 分类号： | B24B19/00;B24B9/06;B24B29/02;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/20;B24B49/12 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张建利 |
| 地址： | 226000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供一种晶体微盘光学谐振腔制备设备及方法，涉及光学技术领域，制备设备包括驱动装置、晶体固定支架、打磨基座、三维平移台和控制装置，打磨基座包括基座主体和支撑部，支撑部的第一端与基座主体的上表面连接，支撑部的第一侧与基座主体的上表面之间形成第一夹角，支撑部的第二端向支撑部的第二侧弯折形成弯折部，弯折部与支撑部之间形成第二夹角。通过采用设置有三个固定面的打磨基座与自动化机械加工设备配合使用，可对高纯度的晶体微腔进行定型、倒角以及抛光，可将晶体侧表面光滑度达到Ra0.01um，制备品质因子超过5.4×10 |
||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 光学 谐振腔 制备 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学长三角光电科学研究院，未经北京大学长三角光电科学研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210587559.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
