[发明专利]MEMS装置和电子设备在审
| 申请号： | 202210588560.8 | 申请日： | 2022-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN115065920A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 刘波 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R1/44;H04R19/02;H04R19/04;H04M1/03;B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 李郎平 |
| 地址： | 266101 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS装置和电子设备。所述MEMS装置包括基底和设置于所述基底上的振动组件；所述振动组件包括背极板和第一振膜，所述第一振膜位于所述背极板的第一侧；所述背极板的中心位置处设置有第一通孔，所述第一振膜具有工作区和非工作区；其中，所述工作区被配置为能够通过振动实现所述第一振膜的声学性能；所述非工作区位于与所述第一通孔相对的位置处，且所述非工作区设置有多个微孔。本申请提供的MEMS装置能够很大程度上阻挡空气中的水汽或杂质通过，实现了很好的防水、防尘效果，并且，将微孔设置于非工作区，对振动组件的声学性能影响较小。 | ||
| 搜索关键词： | mems 装置 电子设备 | ||
【主权项】：
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