[发明专利]一种用于评估半导体设备制造产能的分析系统

摘要

本发明提供了一种用于评估半导体设备制造产能的分析系统，包括：产品进出时间获取模块、生产时长计算模块、产能评估模块、信息关联标注模块、影响产能提升因素分析模块；其中，产品进出时间获取模块获取各类型产品在半导体设备中的各生产单元的进出时间；生产时长计算模块根据进出时间计算出各类型产品在设备的生产单元中所需要的生产时长；产能评估模块根据生产时长评估出各产品在该半导体设备的预估产能；信息关联标注模块将产品类型、设备、生产制程、该制程下设备中的生产单元、生产时长、已知稳定产能、预估产能、实际产能进行关联标注；影响产能提升因素分析模块基于关联标注后的信息数据分析出是否有影响产能的关键生产单元。