[发明专利]一种具有均匀材料去除功能的复合表面图案抛光垫有效
| 申请号： | 202210603668.X | 申请日： | 2022-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN114770372B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 侯天逸;李军;张万一;朱永伟;牛凤丽;宗傲;范永见 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学;南京航空航天大学无锡研究院 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 周宁 |
| 地址： | 214187 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有均匀材料去除功能的复合表面图案抛光垫，属于超精密加工领域，所述抛光垫表面存在按设计要求分布的突出块，且每个突出块上有按设计要求分布的小图案，组成复合结构表面图案；通过对抛光垫表面突出块的排布设计，使抛光垫上不同半径位置的去除效率相同，从宏观层面实现抛光垫整体的材料去除效率均等；通过对突出块表面复合小图案分布密度设计，使同一突出块上的内外侧小图案的材料接触的路程尽可能均等，从微观层面实现单个突出块上材料去除效率的均等；本发明将宏观效果与微观作用结合，使得加工过程中工件的材料去除均匀性得到了极大的改善，解决了抛光加工中工件材料去除不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 均匀 材料 去除 功能 复合 表面 图案 抛光 | ||
【主权项】：
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