[发明专利]一种反射镜面形控制结构及光束线装置有效
申请号: | 202210605544.5 | 申请日: | 2022-05-30 |
公开(公告)号: | CN114924378B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 徐中民 | 申请(专利权)人: | 深圳综合粒子设施研究院 |
主分类号: | G02B7/185 | 分类号: | G02B7/185;G02B7/18 |
代理公司: | 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 | 代理人: | 唐民 |
地址: | 518106 广东省深圳市光*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种反射镜面形控制结构及光束线装置,涉及同步辐射及自由电子激光技术领域。反射镜面形控制结构包括镜体及冷却模组;镜体设有反射面及冷却槽,反射面和冷却槽均沿镜体的长度方向延伸,冷却槽的开口朝上,冷却槽内填设有冷却液体;冷却模组包括冷却组件、多个冷却板及多个导热控制机构,多个冷却板沿冷却槽的长度方向分布,冷却板与冷却组件之间均设有导热控制机构,导热控制机构用于使冷却组件通过相应的冷却板与冷却液体进行热量交换。反射镜面形控制结构可实现对反射面上任意位置的面形进行精准控制,适用不同波段的X射线照射在反射面上的情形。 | ||
搜索关键词: | 一种 反射 镜面形 控制 结构 光束 线装 | ||
【主权项】:
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