[发明专利]一种硼硅玻璃的键合方法在审
| 申请号： | 202210618131.0 | 申请日： | 2022-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN114920469A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 王乙瑾;方舟;马怀超;李廷涛;孙正社;张磊;袁丽珠;李思颖;余文方 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C27/06 | 分类号： | C03C27/06 |
| 代理公司： | 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 | 代理人： | 赛晓刚 |
| 地址： | 650217 *** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硼硅玻璃的键合方法，该键合方法包括如下步骤：(1)将磨抛后表面光滑的硼硅玻璃基片分别使用纯水、乙醇清洗去除污物(2)在piranha溶液中超声清洗后再次使用纯水和乙醇清洗，并用氮气枪将其吹干(3)在键合面滴加氨水活化液，将其贴合后在湿度70％‑90％环境放置2h，之后将其分开，再次滴加氨水活化液后重新贴合待用。(4)将贴合静置后的基片放入真空烘干箱，先在100℃保温1h，然后在200℃继续保温4h。(5)随炉自然冷却到室温，键合完成。该键合方法无需在高洁净环境中进行，对设备和环境要求较低，成本低廉，方便操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 方法 | ||
【主权项】：
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