[发明专利]一种光纤湿度传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 202210622700.9 | 申请日： | 2022-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN114966985B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 余健辉;赖智聪;陈伟栋;张宇;李志斌;钟永春;朱文国;唐洁媛 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293;G01N21/17 |
| 代理公司： | 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 | 代理人： | 林伟斌 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及光纤传感器技术领域，公开了一种光纤湿度传感器的制造方法，包括如下步骤：S1：将单模光纤加热熔融拉制成双锥形微纳光纤；S2：用掩膜法在介质衬底上刻蚀出深度为纳米量级的微型槽；S3：将双锥形微纳光纤的腰部悬空于刻蚀有微型槽的介质衬底上方；S4：用紫光胶将双锥形微纳光纤两端固定在微型槽两侧；本发明制得的光纤湿度传感器，结构简单，无需添加特殊的增敏材料，仅利用双锥形微纳光纤倏逝场与介质衬底相互耦合的方式即可实现环境湿度的传感，具有灵敏度高、响应速度快、重复性和稳定性强的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 湿度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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