[发明专利]一种量块尺寸非接触检测装置及方法在审
| 申请号： | 202210624539.9 | 申请日： | 2022-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN114909995A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 杨凡 | 申请（专利权）人： | 南京师范大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 210097 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于计量技术领域，公开了一种量块尺寸非接触检测装置及方法，包括：双显微成像系统、显微镜固定滑轨、潜望装置、样品定位平台、精密平动平台；双显微成像系统中均包括显微物镜；双显微成像系统分别安装于所述显微镜固定滑轨的左侧和右侧，并沿着显微镜固定滑轨滑动；样品定位平台固定在精密平动平台上，样品定位平台用于放置待测量块；潜望装置设置于显微物镜附近，用于将待测量块边界的像折转入显微成像系统。本方案无需测量双显微成像系统之间的距离，无须双显微成像系统放大倍数完全相同，只需保证待测量块两边界分别落入对应显微成像系统视野即可实现量块尺寸测量，适用于量块加工误差的高精度检验。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量块 尺寸 接触 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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