[发明专利]检查装置以及检查方法在审
| 申请号： | 202210632329.4 | 申请日： | 2022-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN115704779A | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 李炯珍 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人： | 朴英淑 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种检查装置以及检查方法。检查装置可以包括工作台、第一光源、第二光源、光学部件、拍摄部和处理部。在所述工作台可以配置基板。所述第一光源可以照射第一光。所述第二光源可以照射第二光。所述光学部件可以配置在所述第一光源与所述第二光源之间，并且可以使所述第一光的光路径或者所述第二光的光路径朝向所述工作台。所述拍摄部可以拍摄照射了所述第一光和所述第二光的所述基板。所述处理部可以从照射所述第一光获得的第一图像数据中去除照射所述第二光获得的第二图像数据来生成检查数据。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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