[发明专利]一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备

摘要

本发明属于碳化硅生产设备领域，具体的说是一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备，包括长晶炉体；所述长晶炉体的顶部安装有长晶炉盖；所述长晶炉体的内部安装有驱动电机；所述驱动电机设置在靠近长晶炉体底部的位置处；所述驱动电机的输出端固接有驱动轴；通过驱动电机带动驱动轴转动，进而可使得驱动轴带动第一齿轮转动，从而可通过第一齿轮带动第二齿轮转动，进而使得第二齿轮与螺纹杆的螺纹相互配合，进而带动升降炉底板上下移动的结构设计，实现了可使得升降炉底板带动坩埚移动到长晶炉体内部温度相适应位置处的功能，有效的解决了长晶炉体内部的温度分布不均匀，容易对晶体的生长造成影响的问题。