[发明专利]紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构在审
| 申请号： | 202210639268.4 | 申请日： | 2022-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN114995067A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 廖伟;朱红伟;邱盛平 | 申请（专利权）人： | 成都联江科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 吴士卿 |
| 地址： | 610000 四川省成都市中国(四川)自由贸易*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，包括观察镜筒、旋转件、伸缩筒及传动结构，所述观察镜筒形成有沿第一方向贯通设置的第一腔体，所述旋转件沿第二方向所处轴线转动设置于所述观察镜筒，且所述旋转件具有沿径向呈延展设置的旋转驱动部，所述伸缩筒沿第一方向延伸且活动设置于所述第一腔体，且所述伸缩筒用以供观察相机模组安装，所述传动结构传动连接所述旋转驱动部至所述伸缩筒，以将所述旋转件的转动转换成所述伸缩筒的直线运动。实现了对所述伸缩筒的微调，从而使得安装至所述伸缩筒上的观察相机模组能获得较佳的像面位置，最终显示较为清晰的观察画面。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 倍率 投影 曝光 光刻 镜头 结构 | ||
【主权项】：
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