[发明专利]三轴运动台有效
| 申请号： | 202210643706.4 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN114724618B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 谢怡仁;吴火亮;禹洪亮;朱国旗 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司;苏州隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 谭玲玲 |
| 地址： | 201206 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种三轴运动台，包括：基台；气浮座组件，设置在基台上方与基台之间形成第一气浮间隙；第一运动组件，至少部分沿第一方向可运动地设置于基台且连接至气浮座组件，以带动气浮座组件沿平行于基台的第一方向运动；第二运动组件，至少部分沿第二方向可运动地设置于第一运动组件且连接至气浮座组件，以带动气浮座组件沿平行于基台的第二方向运动；第三运动组件，至少部分沿垂直于基台的第三方向可运动地设置于气浮座组件且连接至待定位部件，以带动待定位部件沿第三方向运动；其中，第一运动组件、第二运动组件和气浮座组件沿平行于基台的方向依次布置，以解决现有技术中的三轴运动台在竖直方向上需要占用大量的高度空间的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 运动 | ||
【主权项】：
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