[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及制备方法有效
| 申请号： | 202210643709.8 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN114726336B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 吴淑娴;吴宗霖;钱航宇;唐供宾;邹洁 | 申请（专利权）人： | 深圳新声半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张影 |
| 地址： | 518049 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜体声波谐振器及制备方法，在该薄膜体声波谐振器中，由凸起和/或凹陷构成的波浪型的第一电极与由凸起和/或凹陷构成的波浪型的第二电极相对设置，例如第一电极的凸起与第二电极的凸起相对设置，第一电极的凹陷与第二电极的凹陷相对设置，第一电极与第二电极形成的凸起与凹陷的这种结构可以减少声波能量在垂直方向的泄露；又因为压电层在第一电极与第二电极之间，且任意位置的厚度都相同，这种结构可以使同频率的声波信号进行相干叠加，所以能够有效减小声波能量在垂直方向的泄漏。将第一电极与第二电极形成凸起与凹陷的结构并且使压电层任意位置的厚度相同，有效地提高了谐振器的品质因数和优值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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