[发明专利]一种双栅极TFT器件及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202210644076.2 申请日: 2022-06-09
公开(公告)号: CN114937703A 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 陈伟;李澈 申请(专利权)人: 福建华佳彩有限公司
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L21/34
代理公司: 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) 35212 代理人: 宋连梅
地址: 351100 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种双栅极TFT器件及其制造方法,包括:玻璃基板、缓冲层、第一金属层、第一绝缘层、半导体层、第二金属层、第二绝缘层、有机平坦层和第三金属层;缓冲层上至少具有两个第一凹槽,缓冲层上依次覆盖有第一金属层、第一绝缘层、半导体层、第二金属层、第二绝缘层;第二金属层与半导体层搭接;第二绝缘层表面覆盖带有第二凹槽设计的有机平坦层;沿有机平坦层的第二凹槽覆盖一第三金属层,第三金属层与第二绝缘层接触。本发明通过在玻璃基板上增加一层带有凹槽设计的缓冲层,依靠凹槽的侧边的长度来减小TFT结构器件在Panel中的占比面积,利用触控金属层作为TFT的Topgate,获得电学性能更为稳定的双栅极TFT。
搜索关键词: 一种 栅极 tft 器件 及其 制造 方法
【主权项】:
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