[发明专利]一种平面靶材的绑定方法有效
| 申请号： | 202210649943.1 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN114959601B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 黄宇彬;童培云 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市新站区龙*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及平面靶材技术领域，提供了一种平面靶材的绑定方法，包括步骤：S1、在靶坯的连接面和背板的连接面分别开设相对应的锥孔；S2、在靶坯的连接面和背板的连接面各涂抹一层锡层；S3、将靶坯和背板加热，靶坯的锥孔和背板的锥孔受热膨胀；S4、将连接销钉的一端插入靶坯的锥孔，另一端插入背板上对应的锥孔；并将靶坯的连接面和背板的连接面紧贴；S5、将靶坯和背板冷却，靶坯和背板的锥孔收缩，将连接销钉拉紧，实现靶坯和背板自动对心，并实现逐步拉紧，最终完成平面靶材的绑定。本发明工艺简单方便，成本低，且绑定稳固，适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 绑定 方法 | ||
【主权项】：
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