[发明专利]一种电子化学品二甲苯生产方法及装置在审
| 申请号： | 202210653804.6 | 申请日： | 2022-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN115745726A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 孙津 | 申请（专利权）人： | 北京袭明科技有限公司 |
| 主分类号： | C07C7/00 | 分类号： | C07C7/00;C07C7/04;C07C7/12;C07C7/144;C07C15/08;B01D36/00;B01D3/14 |
| 代理公司： | 北京卓爱普专利代理事务所(特殊普通合伙) 11920 | 代理人： | 王玉松 |
| 地址： | 100192 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高效、节能、灵活利用工业级二甲苯生产高纯电子级二甲苯的方法及装置，其中，方法包括如下步骤中的一种或多种：1)脱水步骤；2)微过滤步骤；)阴阳离子脱除步骤；4)精密精馏步骤；5)纳过滤步骤。本发明的有益效果在于：本发明提供一种流程短、能耗低、分离效果好、工艺连续性强、纯度高，杂质含量低的高纯电子级二甲苯生产方法及装置，得到满足电子化学品SEMI C12(G4)标准以上的高纯电子级二甲苯产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 化学品 二甲苯 生产 方法 装置 | ||
【主权项】：
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