[发明专利]F-Theta场镜的光学系统在审
| 申请号： | 202210657689.X | 申请日： | 2022-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN114994866A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 苏坤;杜伟哲;黄婷;肖荣诗 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B1/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 程琛 |
| 地址： | 100022 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光成像技术领域，提供一种F‑Theta场镜的光学系统，包括：透镜组件；透镜组件包括：第一透镜、第二透镜、第三透镜及第四透镜；第一透镜、第二透镜、第三透镜及第四透镜沿激光束的传播方向依次排布；第一透镜的中心、第二透镜的中心、第三透镜的中心及第四透镜的中心共线；透镜组件的焦距范围为249mm至251mm；透镜组件的半视场角为20度，透镜组件用于聚焦波长为1064nm的激光；本发明提供的F‑Theta场镜的光学系统在对1064nm的激光进行聚焦时，能够得到直径、能量分布较集中、能量分布较均匀的聚焦光斑，从而满足激光精密加工的加工需求。 | ||
| 搜索关键词： | theta 光学系统 | ||
【主权项】：
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