[发明专利]基于非共面不重合叉指电极的声波谐振器在审
| 申请号： | 202210662349.6 | 申请日： | 2022-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN115001436A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 何兴理;金鹏程 | 申请（专利权）人： | 微捷电子信息技术南通有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 唐灵 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于非共面不重合叉指电极的声波谐振器，包括压电薄板、第一叉指电极和第二叉指电极，所述第一叉指电极设置在所述压电薄板的正面上，所述第一叉指电极的数量至少为一个；所述第二叉指电极设置在与所述压电薄板正面相对的背面上，所述第二叉指电极的数量至少为一个；且所述第一叉指电极和第二叉指电极在所述压电薄板厚度方向的投影互不重叠。本发明提出的基于非共面叉指电极结构的新型声波谐振器，与传统结构器件相比，相同指宽条件下器件波长缩减了一倍，基于本发明有望开发出全新的超高频声波器件；在一些实施例中如果选择合适的压电薄膜切向，也可以获得机电耦合系数大于20％的器件，从而支持大带宽滤波器开发。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 非共面不 重合 电极 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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