[发明专利]一种有机无机杂化飞秒激光直写光刻胶有效
| 申请号： | 202210663716.4 | 申请日： | 2022-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN114755884B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 曹春;匡翠方;夏贤梦;沈小明;邱毅伟;关玲玲;刘旭 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 奚丽萍 |
| 地址： | 311121 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机‑无机杂化飞秒激光直写光刻胶，按质量百分比计，由4‑6wt%的酸A、2‑3wt%的单体B、2‑3wt%硫醇化合物C、0.2‑1.0wt%光引发剂D及87‑91.8wt%溶剂E组成。酸A为锆基丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯或两者的混合物，作为飞秒激光直写光刻胶的固态成膜树脂，可以在光刻胶涂膜后将光刻胶固态化，由此降低加工过程中活性种的扩散以提高精度和分辨率，同时提升光刻胶的力学强度，降低体积收缩率等。所述硫醇化合物C与酸A、单体B可以通过巯基烯点击反应高效快速的交联形成网络结构。同时硫醇化合物C具有抗氧阻聚的作用，可高效地的提升飞秒激光直写的速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 无机 杂化飞秒 激光 光刻 | ||
【主权项】：
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