[发明专利]一种电极传输线及包含有该电极传输线的硅基电光调制器

摘要

本发明公开一种电极传输线，包括：至少两层金属层，且相邻金属层中对应位置的金属电极的两侧通过通孔进行电学接触，形成矩形框体状的电极结构。本发明还公开一种包含有该电极传输线的硅基电光调制器。在完全兼容现行CMOS制作工艺的条件下，本发明的结构设计优化了电极传输线的电学带宽，进而提升调制器的电学带宽，从而提高了调制器的电光带宽，因此可适应更高调制速率的使用场景；多层金属层的结构设计可增大电极传输线的截面面积，从而改善电极传输线的直流电流承受能力；本发明形成的矩形框体状的电极结构可减弱趋肤效应对高频电学信号的影响。