[发明专利]微机械压力传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202210667921.8 | 申请日： | 2022-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN114964599A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 李维平;管武干;汪名电 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/02 | 分类号： | G01L9/02 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 魏言笑 |
| 地址： | 210046 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种微机械压力传感器及其制作方法，所述微机械压力传感器，包括：刚性基体，设有凹腔；压力敏感膜，设于所述凹腔的开口处，以与所述刚性基体形成密封腔室，并响应于密封腔室内外的压力差而变形；磁性元件，设于所述密封腔室内且位于所述压力敏感膜面向所述刚性基体的一端；电磁元件，设于所述密封腔室内且位于所述密封腔室面向所述磁性元件的一端，其用于通电产生磁场，以吸引或排斥所述磁性元件使所述压力敏感膜的变形量为零。本申请可以实现压力检测的同时，还可以通过两个磁场相吸或相斥阻止压力敏感膜变形，从而可以减轻压力敏感膜的疲劳磨损，提高传感器的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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