[发明专利]一种改善金属氧化物绝缘层氧化硅龟裂及针孔的制备方法

摘要

本发明公开一种改善金属氧化物绝缘层氧化硅龟裂及针孔的制备方法，有别于现行镀膜方式的固定下电极以恒定等离子体的密度及位置进行镀膜的技术手段。本发明采用的是一边镀膜一边不间断微调下电极进行上下活动的动态镀膜方式。镀膜过程电极处于不间断动态调整，可稍微改变等离子状态，达到镀膜不连续效果，起到重新填补氧化硅龟裂作用及针孔不连续效果。本发明动态电极镀膜方式大幅改善金属氧化物绝缘层氧化硅的龟裂及针孔现象，使得金属氧化物绝缘层氧的针孔变得轻微且不连续，发挥阻挡后制程及环境不良掺杂的功能。