[发明专利]一种新型的基于一维光栅的干涉位移测量装置在审
| 申请号： | 202210672039.2 | 申请日： | 2022-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN114935311A | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 周常河;刘炜程;贾伟;王津 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄卫萍 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型的基于一维光栅的干涉位移测量装置，该装置首次引入三块相等密度的光栅，其中一块为反射式，两块为透射式光栅。入射波长为红光的激光垂直入射在反射式光栅结构上，两束衍射光分别经过两块透射式光栅后经过反射镜调整汇聚于偏振分光棱镜上，最终被两个接收器检测到。该装置可以实现在亚纳米分辨率下测量小位移和长位移的优点，大幅度提升抗干扰能力和光能利用率，其中光栅具有结构简单，加工方便，造价低，可以大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 基于 光栅 干涉 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
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