[发明专利]一种高稳定性压电薄膜的极化工艺在审

专利信息
申请号: 202210672374.2 申请日: 2022-06-15
公开(公告)号: CN115000289A 公开(公告)日: 2022-09-02
发明(设计)人: 管涛;管建国;胡志军;魏书景 申请(专利权)人: 三三智能科技(日照)有限公司
主分类号: H01L41/257 分类号: H01L41/257
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 276800 山东省日照*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种高稳定性压电薄膜的极化工艺,属于极化工艺技术领域,包括如下步骤:用多组不锈钢辊,对其加热升温至一定程度,并对其进行保温;本发明中,通过在内设置有对于薄膜的加热与加压过程,从而能够对于薄膜进行良好的厚度控制,同时在后续设置有对于薄膜的拉伸过程,从而能够有效对于薄膜的韧性与延展性,从而能够有效提高对于该薄膜的后续极化加工效果,同时通过在内还设置有施加一定直流电流,达到极化电场强度的过程,对于薄膜具有良好的电流通电处理效果,能够改变薄膜内的分子分布情况,从而能够有效提高极化处理工艺的整体效果,同时在内设置有两次退火过程,进一步提高整体极化处理工艺效果。
搜索关键词: 一种 稳定性 压电 薄膜 极化 工艺
【主权项】:
暂无信息
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