[发明专利]一种高稳定性压电薄膜的极化工艺在审
申请号: | 202210672374.2 | 申请日: | 2022-06-15 |
公开(公告)号: | CN115000289A | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 管涛;管建国;胡志军;魏书景 | 申请(专利权)人: | 三三智能科技(日照)有限公司 |
主分类号: | H01L41/257 | 分类号: | H01L41/257 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 276800 山东省日照*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种高稳定性压电薄膜的极化工艺,属于极化工艺技术领域,包括如下步骤:用多组不锈钢辊,对其加热升温至一定程度,并对其进行保温;本发明中,通过在内设置有对于薄膜的加热与加压过程,从而能够对于薄膜进行良好的厚度控制,同时在后续设置有对于薄膜的拉伸过程,从而能够有效对于薄膜的韧性与延展性,从而能够有效提高对于该薄膜的后续极化加工效果,同时通过在内还设置有施加一定直流电流,达到极化电场强度的过程,对于薄膜具有良好的电流通电处理效果,能够改变薄膜内的分子分布情况,从而能够有效提高极化处理工艺的整体效果,同时在内设置有两次退火过程,进一步提高整体极化处理工艺效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 稳定性 压电 薄膜 极化 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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