[发明专利]大口径光学透镜的高精度检测方法有效
| 申请号： | 202210683203.X | 申请日： | 2022-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN114993626B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 王洪浩;王建立;李洪文;曹玉岩;明名 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B5/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 魏毅宏 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种大口径光学透镜的高精度检测方法，该高精度检测方法基于大口径光学透镜离散多点柔性支撑机构提出，高精度检测方法包括：将透镜与支撑机构进行装调，通过定心仪检测透镜与支撑机构之间的位置偏差，通过干涉仪检测透镜的面型误差，通过微调机构调整位置偏差和面型误差，以得到调整后的透镜组件；将透镜组件作为一个整体，采用干涉仪、CGH检测元件和标准平面镜作为检测系统搭建透射波前检测光路，以检测透镜透射波前。该高精度检测方法不但能够消除支撑对透镜面型的影响，而且可以针对无法检测的表面(如凸面、非球面等)进行高精度的面型检测。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 光学 透镜 高精度 检测 方法 | ||
【主权项】：
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