[发明专利]用于低蚀刻铜表面的粗化微蚀液在审
| 申请号： | 202210697188.4 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN115181973A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 王立中;陈修宁;李晨庆;王淑萍;黄志齐 | 申请（专利权）人： | 昆山市板明电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 江苏海联海律师事务所 32531 | 代理人： | 陈宁 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于低蚀刻铜表面的粗化微蚀液，属于铜表面加工领域。该粗化微蚀液包括：二价铜离子浓度为5‑55g/L，氯离子浓度为5‑165g/L，无机酸的浓度为20‑200g/L，脂肪胺的浓度为0.1‑10g/L，水溶性聚合物的浓度为0.05‑5g/L，以及水。粗化液的水溶性聚合物能够进一步扩大铜面晶界与晶体的差异性，促进化学蚀刻沿铜面的晶界用类似“钻孔”的方式往下进行，在较低的蚀刻量就可以获得均匀的孔状粗化形貌，有效提高铜层与干膜抗蚀剂、湿膜抗蚀剂、防焊油墨等之间的结合力，而且较低的蚀刻量也利于降低基材成本和减少废液的产生，另外本粗化液采用无机酸体系，COD低，废液易处理，更环保。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 蚀刻 表面 粗化微蚀液 | ||
【主权项】：
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