[发明专利]一种控制大直径单晶硅棒直径的加热器、拉晶炉和方法在审
| 申请号： | 202210697737.8 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN115094518A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 陶莹 | 申请（专利权）人： | 陶莹;北京麦竹吉科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/18;C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 朱晓彤 |
| 地址： | 100000 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种控制大直径单晶硅棒直径的加热器、拉晶炉和方法，涉及单晶硅晶体生长领域，加热器为倒锥台形且上下均敞口的筒状。拉晶炉包括所述的控制大直径单晶硅棒直径的加热器。控制大直径单晶硅棒直径的方法，采用所述的控制大直径单晶硅棒直径的拉晶炉实现。有益效果是：加热器可以尽可能的靠近三相点，加热器升高功率与降低功率所增加和减少的热量，能快速反应在直径变化上。便于从单晶炉的正前方人工观察单晶硅棒的情况，便于拉晶炉内斜上方的感应器或监控相机监测硅棒状态，不遮挡视线或监测设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 直径 单晶硅 加热器 拉晶炉 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陶莹;北京麦竹吉科技有限公司，未经陶莹;北京麦竹吉科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210697737.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种小型螺帽自防松结构
- 下一篇：一种惯导性能参数分析方法及分析系统
