[发明专利]一种蝶阀、半导体设备及蝶阀的控制方法在审
| 申请号： | 202210704404.3 | 申请日： | 2022-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN115163848A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 卢勇;蒲勇;施建新;赵鹏;郑英杰 | 申请（专利权）人： | 芯三代半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/22 | 分类号： | F16K1/22;F16K1/32;F16K27/02;F16K31/04;F16K31/53;F16K37/00;F17D3/01 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 唐学青 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开一种蝶阀、半导体设备及蝶阀的控制方法。该半导体设备包括：反应模块，其内具有反应腔，反应模块上设置有喷淋装置，喷淋装置连接气体供给部，通过喷淋装置向入反应腔内送入反应气体，且反应模块上配置有排气口；及设置于反应模块与抽真空装置之间的蝶阀，该蝶阀包括：抽真空装置，其通过管道连接至反应模块的排气口；阀体及配置于阀体上的控制器，阀体内配置有流道，其内设有呈圆形的阀板，阀板的中部连接转轴，阀体的端部截面呈椭圆状，转轴连接至控制器的输出端，基于控制器的控制转轴旋转带动阀板旋转，以打开或关闭流道。实现0°至90°范围内有效控压，增大了控压范围，增大蝶阀的控压效率，实现用较小的气体流量来保持压力稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 控制 方法 | ||
【主权项】：
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