[发明专利]可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统在审
申请号: | 202210706197.5 | 申请日: | 2022-06-21 |
公开(公告)号: | CN116397206A | 公开(公告)日: | 2023-07-07 |
发明(设计)人: | 赵嘉峰;葛九文;谢斌平;张朱锋;郭维 | 申请(专利权)人: | 费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 上海国瓴律师事务所 31363 | 代理人: | 傅耀 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本公开提供了一种可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统,可拆卸连接装置包括:框架组件,包括:框架主体,包括容纳腔;第一滑动组件,设置在框架主体上且至少部分位于容纳腔内;连接组件,包括:连接主体,用于可拆卸地至少部分容纳在容纳腔内;第二滑动组件,设置在连接主体上,与第一滑动组件滑动配合,用于使连接主体进入或退出容纳腔。 | ||
搜索关键词: | 可拆卸 连接 装置 样品 真空 系统 | ||
【主权项】:
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