[发明专利]MEMS空腔式雾化芯及其制备方法在审
| 申请号： | 202210714574.X | 申请日： | 2022-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN114947222A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞 | 申请（专利权）人： | 江苏甫瑞微纳传感科技有限公司 |
| 主分类号： | A24F40/46 | 分类号： | A24F40/46;A24F40/485;A24F40/42;A61M11/00;B05B15/00;B05B17/06;F24F6/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS空腔式雾化芯及其制备方法。所述MEMS空腔式雾化芯包括：雾化芯主体，所述雾化芯主体的内部具有一雾化腔，所述雾化芯主体的表面设置有与所述雾化腔连通的气孔和导油孔；加热结构，设置在所述雾化腔内，所述加热结构用于对所述雾化腔内的流体介质进行加热，以使所述流体介质受热雾化。本发明实施例提供的一种MEMS空腔式雾化芯，可靠性更高，温度的一致性更好，还可以精准控制渗油的速率和体量，既不会使加热薄膜与经导油孔输入雾化腔的烟油直接接触，又可以使加热薄膜对烟油的加热路径足够短，加快烟油蒸发速度，达到良好的平衡状态。 | ||
| 搜索关键词： | mems 空腔 雾化 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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