[发明专利]一种TiAlCrSiY合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202210715970.4 | 申请日： | 2022-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN114959615A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;张欠男;魏铁峰;岳万祥;施政;王建峰 | 申请（专利权）人： | 苏州六九新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32;C22C30/00;C22C14/00;C22C21/00;B22F9/08;B22F3/02;B22F3/15;B22F3/24 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 荣红颖;刘春成 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市漕湖街道春*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种TiAlCrSiY合金靶材及其制备方法，TiAlCrSiY合金靶材按原子百分比由以下成分组成：Ti10‑50％，Al20‑78％，Cr10‑40％，Si1‑20％，Y0‑10％且Y不为0；其制备方法包括雾化制粉、混粉、冷压成型、装包套、脱气、热等静压等步骤，其中，将AlY |
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| 搜索关键词： | 一种 tialcrsiy 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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