[发明专利]一种铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法有效
| 申请号： | 202210716285.3 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN114836836B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 周伟家;辛笛;孙德辉;张运武;刘晓燕;赵莉莉;王东周;刘宏 | 申请（专利权）人： | 济南大学 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/30 |
| 代理公司： | 山东誉丰合创知识产权代理有限公司 37384 | 代理人： | 刘妍 |
| 地址： | 250022 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法，包括以下步骤：(1)将抛光后的铌酸锂晶片或钽酸锂晶片置于密闭装置中，然后充满还原性气体；(2)按照设定好的图形，激光欠焦照射铌酸锂晶片或钽酸锂晶片，通入惰性气体排出还原性气体，得到局域黑化的晶片。所述激光欠焦的参数为：激光波长为1064nm，激光功率为4～10W，欠焦距离为0.50～2.50cm，扫速为100～600mm/s。本发明在还原性气体氛围内，采用激光照射铌酸锂晶片或钽酸锂晶片，能够快速实现晶片黑化，同时还可以对黑化的区域进行选择，达到局域化黑化的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂 晶片 钽酸锂 局域 快速 方法 | ||
【主权项】：
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