[发明专利]砷化镓晶体超细金刚石线切割工艺在审
| 申请号： | 202210726938.6 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN115042334A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 郭全斌 | 申请（专利权）人： | 浙江康鹏半导体有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 | 代理人： | 陈璟峰 |
| 地址： | 321100 浙江省金*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及砷化镓晶体超细金刚石线切割工艺，包括如下：准备；绕线；加张力；将晶棒上锯；输入加工数据；走线；复查；开机；下机，所述准备的过程中需要按照晶棒的加工要求更换合适型号的ROLLER滚筒、V轮、切割线等耗材，所述加张力是对金刚线母线进行加张力，所述加张力前需要根据待切割的晶棒对金刚线母线的型号进行选择，在选择所述金刚线母线的张力时需要根据母线的线径的破断张力的60％～70％进行选择，所述金刚线主线的母线线径为38um～70um，张力范围为5～12N，所述开机过程中所使用的设备为金刚石多线切割机。本发明采用附着金刚石的切割线+切削液方式，固定方方式结合金刚石颗粒，参与磨削的金刚石更多，减少磨料之间的相互损耗，更好的控制切割参数。 | ||
| 搜索关键词： | 砷化镓 晶体 金刚石 切割 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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