[发明专利]一种真空法将砷化镓多晶合成的废料综合回收的设备在审
| 申请号： | 202210733857.9 | 申请日： | 2022-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN115142135A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 袁韶阳;冯佳峰;于会永;赵春锋;赵中阳;刘钊;张艳辉;荆爱明 | 申请（专利权）人： | 大庆溢泰半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C22B7/00;C22B9/04;C22B30/04;C22B58/00;B01D36/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 163000 黑龙江省大庆市高新区火*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种真空法将砷化镓多晶合成的废料综合回收的设备，涉及砷化镓废料回收装置领域，包括真空压力分解装置、砷回收装置和镓回收装置；真空压力分解装置包括真空分解炉，真空分解炉一端为高温端，另一端为低温端，砷回收装置包括集砷罐和真空泵，集砷罐与真空泵连通，集砷罐的上部与真空分解炉的低温端通过管路连通，集砷罐设置有竖向放置的收集网，集砷罐下方设置有砷收集盒；镓回收装置包括镓液冷却过滤器、洗镓槽、分级溢流槽和镓液收集槽。本发明旨在对砷化镓废料进行全程自动化处理，减少人员接触，自动上料，砷镓自动分离，分离后自动进行纯化处理，产出品纯度至少在5N以上，剩余尾料可循环使用，基本实现零排放。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 法将砷化镓 多晶 合成 废料 综合 回收 设备 | ||
【主权项】：
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