[发明专利]一种螺旋波等离子体石英玻璃管内壁镀膜装置在审
| 申请号： | 202210739991.X | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN115110049A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 黄天源;季佩宇;李茂洋;吴雪梅 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董成 |
| 地址： | 215137 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种螺旋波等离子体石英玻璃管内壁镀膜装置。包括底座，所述底座上放置有真空石英管和与真空石英管配合的永磁体，所述真空石英管的一侧设置有螺旋天线，另一侧设置有溅射靶板；所述螺旋天线连接有射频功率系统；所述溅射靶板连接有一传送杆，所述传送杆连接有一驱动装置，所述驱动装置带动所述传送杆转动且带动所述传送杆沿真空石英管的轴向移动。本发明的镀膜装置，可以根据不同的镀膜需求，更换具有不同材料组分的溅射靶板，从而实现多类型薄膜涂覆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 螺旋 等离子体 石英 玻璃管 内壁 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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