[发明专利]用于制造具有改进性能的声学装置的方法在审
| 申请号： | 202210745999.7 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN115549623A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | B·Q·迪埃普;D·德尼兹;M·L·瓦西里克;J·贝尔西克 | 申请（专利权）人： | QORVO美国公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/08;H03H9/02 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘倜 |
| 地址： | 美国北*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及用于制造具有改进性能的声学装置的方法。一种用于制造声学装置的方法，包括：提供衬底；在所述衬底上方提供底部电极；在所述底部电极上提供牺牲层；对所述底部电极和所述牺牲层进行图案化；对所述牺牲层进行抛光，使得所述牺牲层的一部分保留在所述底部电极上；以及经由清洁工艺去除所述牺牲层的保留部分，使得保持所述底部电极的表面粗糙度。通过进行所述抛光，使得所述牺牲层的一部分保留在所述底部电极上并且随后经由保持所述底部电极的所述表面粗糙度的清洁工艺去除所述牺牲层的所述部分，能够显著改善所述底部电极上的压电层的后续生长。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 具有 改进 性能 声学 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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