[发明专利]一种聚酰亚胺薄膜退火设备在审

专利信息
申请号: 202210746487.2 申请日: 2022-06-29
公开(公告)号: CN115284646A 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 王善辉;柳武军;陈东;应胜辉;毛勇军;谢秀蒲 申请(专利权)人: 浙江中科玖源新材料有限公司
主分类号: B29C71/02 分类号: B29C71/02;B29L7/00
代理公司: 合肥金律专利代理事务所(普通合伙) 34184 代理人: 胡亚云
地址: 321100 浙江省金华*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开一种聚酰亚胺薄膜退火设备,包括:退火室,具有进口、出口;牵引机构,用于牵引薄膜持续通过退火室并将退火室分隔成位于薄膜上方的上区和位于薄膜下方的下区;上安装组件,安装在退火室内,并具有位于薄膜上表面与退火室顶壁之间的将上分区隔成上加热区和上冷却区的上分隔件;第一上吸气组件,安装在上加热区内,并用于由上加热区进口处向退火室外抽取上加热区气体;上加热组件,安装在上加热区内并靠近上安装组件。加热效率高,气体可循环利用,对薄膜逐渐升温,有助于良品率。
搜索关键词: 一种 聚酰亚胺 薄膜 退火 设备
【主权项】:
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