[发明专利]通过加入金属氧化物纳米颗粒提高单晶金刚石抛光效率的方法在审

专利信息
申请号: 202210746893.9 申请日: 2022-06-29
公开(公告)号: CN115091338A 公开(公告)日: 2022-09-23
发明(设计)人: 佘丁顺;宋慧慧;关芮;岳文;赵洪晨;康嘉杰;孟德忠;朱丽娜;付志强 申请(专利权)人: 中国地质大学(北京);中国地质大学(北京)郑州研究院
主分类号: B24B29/00 分类号: B24B29/00;B24B49/00;B24B49/16;C09G1/02
代理公司: 深圳市优赛朝闻专利代理事务所(普通合伙) 44454 代理人: 谭育华
地址: 100000*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及单晶金刚石加工技术领域,特别涉及一种通过加入金属氧化物纳米颗粒提高单晶金刚石抛光效率的方法。在传统金刚砂抛光盘上,添加混合抛光液(去离子水与氧化铝或氧化锆质量比为:1:0.2~1:8),提高单晶金刚石{111}晶面100晶向抛光效率。所述混合抛光液流速为100~200mL/h,匀速滴在高速旋转的金刚砂抛光盘上;所述抛光盘转速为500r/min~2500r/min。所述单晶金刚石的夹具为角度可调节夹具,施加压力约为0.5~20N。混合抛光液可有效保护金刚砂抛光盘,并为单晶金刚石的有效加工提供了新思路。
搜索关键词: 通过 加入 金属 氧化物 纳米 颗粒 提高 金刚石 抛光 效率 方法
【主权项】:
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