[发明专利]一种树脂组合物以及使用其的光刻胶图形化的方法在审
| 申请号： | 202210747776.4 | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN115097694A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 马文杰;晏凯;刘力铭;杨遇春;夏巍;郑柳瑜 | 申请（专利权）人： | 深圳市容大感光科技股份有限公司;惠州市容大感光科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 钟守期;张国庆 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种树脂组合物，其包含以下组分：(A)碱可溶树脂，10至30重量％；(B)溶剂，70至90重量％，优选75至85重量％；(C)表面活性剂，0.005至0.5重量％，优选为0.01至0.4重量％；(D)粘接助剂，0.01至20重量％，优选为0.1至15重量％，更优选为0.1至10重量％，各组分之和为100重量％。还涉及使用该树脂组合物进行光刻胶图形化的方法。该树脂组合物作为底层牺牲层光刻胶，能够通过控制其在显影后的碱溶速率从而通过设定显影时间，进而精确控制底切宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 树脂 组合 以及 使用 光刻 图形 方法 | ||
【主权项】：
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