[发明专利]一种磁控式自动找平装置在审

专利信息
申请号: 202210748789.3 申请日: 2022-06-28
公开(公告)号: CN115036242A 公开(公告)日: 2022-09-09
发明(设计)人: 李金龙;罗驰;张婧婧;刘家勇;钱丽曼;何桂华;龙庆;袁俊峰;侯云芳 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第二十四研究所
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) 50221 代理人: 廖宇
地址: 400060 *** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明公开了一种磁控式自动找平装置,用于对吸头治具的吸附面进行找平,包括从下至自适应找平机构、检测控制机构以及驱动机构,自适应找平机构包括一与检测控制机构固定连接的第一磁极组件以及相对设置在第一磁极组件下方并与吸头治具可拆卸连接的第二磁极组件,第一磁极组件和第二磁极组件通以反向电流后产生一排斥力,驱动机构驱动第一磁极组件下压第二磁极组件并推动吸头治具接触、下压贴装平面,检测控制机构检测作用于贴装平面上的压力,并于该压力抵消排斥力与第二磁极组件重力的合力后控制第一磁极组件或第二磁极组件的电流反向产生一吸引力,并对第一磁极组件和第二磁极组件进行锁定,完成吸头治具的找平,找平吸头治具的吸附面水平度不再发生变化,结构稳定可靠。
搜索关键词: 一种 磁控式 自动 找平 装置
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