[发明专利]一种镁基热电高通量薄膜材料及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202210759518.8 | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN115172581A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 刘玮书;李波;张一鸣;张澎祥;韩志佳;朱康;张文清 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | H01L35/34 | 分类号： | H01L35/34;H01L35/20 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 温宏梅 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种镁基热电高通量薄膜材料及其制备方法应用，所述制备方法包括步骤：在基片表面镀上镁基基体薄膜；采用真空蒸镀，利用分立掩膜工艺在镁基基体薄膜表面镀上掺杂元素；然后将镀上掺杂元素的镁基基体薄膜在真空设备中进行退火处理，制得镁基热电高通量薄膜材料。本发明采用真空蒸镀分立掩膜的方式，将热蒸发与电子束蒸发相互结合的形式，制备镁基热电高通量薄膜材料，一方面，可以使得薄膜材料符合低维化、小型化要求，小型化可以提高热电模块的集成密度，从而增加电力输出，且热电器件的特征尺寸越小，功率密度也就越大；另一方面，该制备方法具有制备时间短，原料使用少，制备成分多等特点，同时适用于工业化大规模生产和筛选。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热电 通量 薄膜 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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